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描述
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加热夹套
描述
PMS 特点

中和处理：采用热氮气进行工艺气体稀释

传输功能：通过向管壁喷射热氮气，高速输送副产物，防止在管道内积聚

热能激活：通过喷射热氮气激活副产物，防止在管道中堆积

PMS优势

降低成本并防止粉末堆积

抑制管道内氧化物的产生

通过减少预防性维护周期提高设备生产率

降低维护成本

描述
喷淋头（焊接结构件）
喷淋头（可拆卸结构）
半导体晶圆厂咨询服务 [DRAM 和 Foundry]
降低成本.
缺陷改进
提高芯片产量
生产效率提升.
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